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对无尘室 c/r 而言,润滑油工厂,较严格要求的部分为地板、---,以及墙壁的部分。至于维修的问题,对材料的选择是否容易清洁性及维---都应有其优先级。在应用力面、---、地板及墙壁三者之中重要的为---,其包含 hepa 及 ulpa 等滤网,其可过滤掉房间的微粒子,且其常会因各个不同的需要,润滑油使用方法,便其分开来,供应各个不同区域的小房间,曾有人说 :若建造之预算因某种原因被---,除了少数的小钱外,其---将趋于更贵的地步,其实---是一个颇复杂的系统其必须严格地过滤粒子,故其设计必须好。
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